突破低压低转速限制!光诚精密 6 寸 LN 研磨片抛光方案,用数据彰显硬核实力!

工艺 · 行业科普
2026.01.23

突破低压低转速限制!光诚精密 6 寸 LN 研磨片抛光方案,用数据彰显硬核实力!

光诚 6 寸 LN 抛光:数据彰显硬核实力!

    在铌酸锂(LN)研磨片加工领域,材料去除效率、厚度均匀性(TTV)的精准控制,以及加工成本与耗材耐用性的平衡,是企业量产过程中关注的核心诉求,直接影响产品品质与市场竞争力。

    光诚精密(KOUSEISEIMITSU)近期针对 6 寸 LN 研磨片开展的专项测试,不仅完整呈现了标准化的技术落地过程,更用实打实的数据证明:我们的抛光方案,能完美回应行业核心诉求,实现 “效率、精度、成本” 的三重优化!

01 测试前置:从设备到耗材,全链路把控基础条件

要确保测试结果的严谨性与参考价值,“硬件打底” 是关键。本次测试从机器、抛光垫、抛光液到研磨片,均选用经过市场验证的优质配置,为后续方案落地筑牢基础:

核心机器

名正 16B 双抛机,作为行业内常用的高精度抛光设备,确保了运行稳定性与参数可控性。

抛光垫

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东丽 ATA880 无纺布,具备优异的可加工性与耐磨性,能适配不同压力与转速下的抛光需求。

核心耗材

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光诚自研双组份氧化硅抛光液(KSTP-80NZ,按比例稀释使用),这也是本次测试的 “核心竞争力载体”。

测试对象

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6 寸 LN 研磨片,覆盖多组初始状态不同的样品,确保结果的普适性。

02 三大方案并行:模拟真实场景,层层验证抛光实力

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为全面验证方案在不同工况下的表现,我们设计了三种差异化测试方案,分别针对 “基础低压低转速”“循环抛光”“高压低转速” 三类核心场景,每一步流程都严格标准化,确保数据可复现:

方案

核心定位

关键设定

方案一

基础低压低转速工况

低压低转速,稳定液温与匀速液体供给,单次抛光时长充足

方案二

循环抛光工况

低压设定,微调转速,抛光液循环使用,选用方案一成品二次抛光,保持稳定液温、匀速液体供给与标准抛光时长

方案三

高压低转速工况

高压低转速,维持稳定液温、匀速液体供给与标准抛光时长,强化 gap   值测量精准度

03 数据说话:四大核心优势,碾压行业常规水平

测试从RA值、去除率、TTV 值(厚度均匀性,数值越低越优)、稳定性四个关键维度分析,结果优秀:

RA 值:多工况均优,超精质感稳定

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三组测试图直观印证了光诚抛光方案的超精密加工实力:不同工况下 6 寸 LN 研磨片表面粗糙度均稳定在 0.2-0.3nm 级别,中间区域加工均匀性优于边缘,且部分工况可实现表面高度差 ±1nm 内的极致平整,完美匹配高精度应用需求。

去除率:低压高效,高压更强,循环衰减可控

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·方案一(低压 100g/cm²):平均去除率 2μm/h;

·方案二(加压 160g/cm²):平均去除率 3.3-4.2μm/h;

·方案三(循环抛光):去除率仅衰减 20%(1.5-1.7μm/h)。

TTV 值:均匀性拉满,合格率稳定

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行业合格标准为 TTV≤2.5μm,光诚方案表现更优:

·方案一:样品TTV≤2.4μm,最低 1.6μm;

·方案二:样品 TTV 全部控制在 2.3μm 以内,无一片超标,多数集中在 1.7-2.0μm,均匀性进一步提升;

·方案三:样品 TTV 均未超过 2.1μm,平均仅 1.8μm 左右,在高压高效去除的同时,完美规避 “快抛必不均” 的行业痛点。

同一方案内不同样品的去除率波动幅度小,即便循环使用耗材,仍能保持稳定抛光效果,批次差异性小。

END:不止于"达标",更致力于“领跑”

测本次 6 寸 LN 研磨片抛光测试,光诚精密用 “低压 2μm/h 稳定去除”“高压 3.5μm/h 高效加工”“循环衰减仅 20%” 三大核心成果,打破了行业对 “低压低转速 = 低效”“高压 = 不均” 的固有认知。

背后的核心,正是光诚自研双组份氧化硅抛光液的技术突破 —— 通过精准调控氧化硅颗粒大小与分散性,搭配东丽 ATA880 抛光垫的适配性优化,实现了 “效率、均匀性、成本” 的三角平衡。

未来,光诚精密将继续深耕 LN 等精密材料加工领域,用更贴近产业需求的测试与方案,为客户提供 “降本、提质、增效” 的一站式解决方案。如果您也在为精密研磨抛光的效率或品质发愁,欢迎联系我们,用数据见证实力!